时间： 2021-06-11    信息来源: 黑龙江省科技成果转化中心    

 项目简介：
本项目是引进白俄罗斯的超纯特种电子气体提纯工艺的核心技术，经中方技术人员的消化、吸收和再创新，形成具有自主知识产权的科研成果。引进超纯电子气纯化技术，利用国内2N（99%）-3N（99.9%）级的粗品气体，提纯到5N（99.999％）以上的高纯特种电子气体，能够实现规模化生产，从而抑制国外进口产品的价格。 主要研究了烷类特种电子气体纯化原理、纯化工艺；分子筛结构、复合吸附剂的配制方法和再生技术；纯化设备的制造技术。研究和掌握粗品气各种杂质的特性，研究温度对其分离的影响，研究不同吸附剂和反应剂对粗品气中不同成分的作用程度，配制高纯金属等复合吸附剂，同时，采取吸附、精馏、膜片和化学等多种集成方法，从而最大程度地去除粗品气中的杂质，获取5N以上的超高纯气。在设备制造方面，重点提高气体预纯和仪器装置的集成度问题，重点研发深度脱水、烃反金属离子净化器、反应器和导管内表面处理技术，确保缸体和管路内表面的洁净度。在产品分析检测方面，重点研究和掌握电子气体检测仪器的设计原理，充分认识质谱、色层、库仑等方法在检测中的作用，进而研制出自己的高性能检测仪器。

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